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潔凈廠房是以具有潔凈室和潔凈區作為重要標志的生產廠房。近年來，以微電子產品為代表的高新技術發展迅速，電子產品生產過程對生產環境要求十分嚴格，電子工業的潔凈廠房設計需要從各個環節嚴格要求，以確保其安全有序運行。本文我們將了解電子工業潔凈廠房在防火、疏散及電氣設計方面的基本要求。

一、防火與疏散

1、潔凈廠房的耐火等級不應低于二級。

2、潔凈廠房內生產工作間的火災危險性，應符合現行標準《建筑設計防火規范》GB 50016的有關規定。

3、潔凈廠房內防火分區的劃分，應符合現行標準《建筑設計防火規范》GB 50016的有關規定。

丙類生產的電子工業潔凈廠房的潔凈室(區)，在關鍵生產設備設有火災報警和滅火裝置以及回風氣流中設有靈敏度嚴于0.01%obs/m的高靈敏度早期火災報警探測系統后，其每個防火分區的大允許建筑面積可按生產工藝要求確定。

4、潔凈室的上技術夾層、下技術夾層和潔凈生產層，當按其構造特點和用途作為同一防火分區時，上下技術夾層的面積可不計入防火分區的建筑面積，但應分別采取相應的消防措施。

5、潔凈室的頂棚和墻板、技術豎井井壁的材質選擇，應符合現行標準《潔凈廠房設計規范》GB 50073的有關規定。

6、在綜合性廠房的一個防火分區內，潔凈生產區域與一般生產區域之間應設置不燃燒體隔斷設施。不燃燒體隔斷設施應符合現行標準《潔凈廠房設計規范》GB 50073的有關規定。

7、潔凈廠房的安全出口的設置，應符合下列規定：

(1)每一生產層、每個防火分區或每一潔凈室的安全出口數目，應符合現行標準《潔凈廠房設計規范》GB 50073的有關規定;

(2)安全出口應分散布置，并應設有明顯的疏散標志;安全疏散距離應符合現行標準《建筑設計防火規范》GB 50016的有關規定。安全疏散用門應向疏散方向開啟，并應設觀察玻璃窗;

(3)丙類生產的電子工業潔凈廠房，在關鍵生產設備自帶火災報警和滅火裝置以及回風氣流中設有靈敏度嚴于0.01%obs/m的高靈敏度早期火災報警探測系統后，安全疏散距離可按工藝需要確定，但不得大于本條第2款規定的安全疏散距離的1.5倍。

注對于玻璃基板尺寸大于1500m×1850mm的TFT-LCD廠房，且潔凈生產區人員密度小于0.02人/㎡，其疏散距離應按工藝需要確定，但不得大于120m。

8、潔凈廠房的潔凈區各層外墻應設置專用消防口，并應符合下列規定：

(1)潔凈區各層專用消防口的設計，應符合現行標準《潔凈廠房設計規范》GB 50073的有關規定;

(2)潔凈廠房外墻上的吊門、電控自動門以及裝有柵欄的窗，均不應作為專用消防口。

9、潔凈廠房內有爆炸危險的房間應靠建筑外墻布置，且不得與疏散安全口(樓梯間)貼鄰。有爆炸危險的房間的防爆措施、泄爆面積等應符合現行標準《建筑設計防火規范》GB 50016的有關規定。

二、配電

1、潔凈廠房的用電負荷等級和供電要求，應根據電子產品生產工藝及設備要求和現行標準《供配電系統設計規范》GB 50052的有關規定確定。

2、潔凈廠房低壓配電電壓等級應符合生產工藝設備用電要求。帶電導體系統的型式宜采用單相二線制、三相三線制、三相四線制。系統接地型式宜采用TN-S或TN-C-S系統。

3、電子產品生產用主要工藝設備，應由專用變壓器或專用低壓饋電線路供電。對電源連續性有特殊要求的生產設備、動力設備，宜設置不間斷電源或備用發電裝置等。在潔凈室(區)內宜設置獨立的檢修電源。

4、潔凈廠房的凈化空調系統(含制冷機)，應由變電所專線供電。

5、潔凈廠房的電源進線(不包括消防電源進線)應設置手動切斷裝置，手動切斷裝置宜設置在潔凈室(區)外便于操作管理的場所。

6、潔凈室(區)內的配電設備，應選擇不易積塵、便于擦拭的小型、暗裝設備，不宜設置落地安裝的配電設備。配電設備宜設置在下技術夾層，并應在頂部設擋水設施。

7、潔凈廠房的電氣管線宜敷設在技術夾層或技術夾道內，宜采用低煙、無鹵型電纜，穿線導管應采用不燃材料。潔凈生產區的電氣管線宜暗敷，電氣管線管口及安裝于墻上的各種電器設備與墻體接縫處應采取密封措施。

8、潔凈廠房內，可燃氣體或液體的儲存、分配間的電氣設計，應根據可燃氣體或液體的特性確定，并應符合現行標準《爆炸和火災危險環境電力裝置設計規范》GB 50058的有關規定。

三、照明

1、潔凈室(區)的主要生產用房間一般照明的照度值宜為300～500 lx;輔助工作室、人員凈化和物料凈化用室、氣閘室、走廊等的照度值宜為200～300 lx。

2、對照度有特殊要求的電子產品生產部位應設置局部照明，其照度值應根據生產操作的要求確定。

3、潔凈廠房備用照明的設置應符合下列規定：

(1)潔凈室(區)內應設備用照明;

(2)備用照明宜作為正常照明的一部分，且不應低于該場所一般照明照度值的20%;

(3)備用照明的電源宜由變電所專線供電。

4、潔凈廠房內應設置供人員疏散用的應急照明，其照度不應低于5.0lx。在安全出入口、疏散通道或疏散通道轉角處應設置疏散標志。在專用消防口應設置紅色應急照明指示燈。

5、潔凈室(區)內照明光源，宜采用高效熒光燈。對有感光度要求的生產場所，宜采用黃色光源。

6、潔凈室(區)內一般照明燈具的選擇與布置，應符合下列規定：

(1)潔凈室(區)內宜采用吸頂明裝、不易積塵、便于清潔的潔凈燈具;

(2)空氣潔凈度等級嚴于或等于5級的潔凈室(區)，宜采用淚珠型燈具;

(3)當采用嵌入式燈具時，其安裝縫隙應采取密封措施;

(4)潔凈室(區)內燈具的布置，不應影響氣流流型，并應與送風口協調布置。

四、通信與安全保護裝置

1、潔凈廠房內應設置通信設施，通信設施的設置應符合下列要求：

(1)潔凈室(區)內應設置內外聯系的通信設施。每個工序宜設置有線語音插座;

(2)潔凈室(區)內設置的無線通信系統，不得對電子產品生產設備造成干擾;

(3)數據通信裝置應根據管理及電子產品生產工藝的需要設置;

(4)通信線路宜采用綜合布線系統，綜合布線系統的配線間不應設在潔凈室(區)內。

2、潔凈廠房應設置火災自動報警系統，其防護等級應符合現行標準《火災自動報警系統設計規范》GB 50116的有關規定。當防火分區面積超過現行標準《建筑設計防火規范》GB 50016規定的大建筑面積允許值時，保護等級應為一級。

3、潔凈廠房的消防控制室不應設在潔凈室(區)內。消防專用電話總機的設置應符合現行標準《火災自動報警系統設計規范3GB 50116的有關規定，并應在下列場所設置消防專用電話：

(1)潔凈室(區)的入口處;

(2)應急處理中心;

(3)中央控制室;

(4)特種氣體管理室。

4、潔凈廠房內火災探測器的設置應符合下列規定.

(1)潔凈生產區、技術夾層、機房、站房等均應設置火災探測器，其中潔凈生產區、技術夾層應設置智能型探測器;

(2)當潔凈廠房防火分區面積超過現行標準《建筑設計防火規范》GB 50016的規定時或頂部安裝點式探測器不能滿足現行規范設計要求時，在潔凈室(區)內凈化空調系統混入新風前的回風氣流中應設置靈敏度嚴于0.01%obs/m的早期煙霧報警探測器;

(3)硅烷儲存、分配間(區)，應設置紅外線-紫外線火焰探測器;

(4)潔凈生產區、走道和技術夾層(不包括不通行的技術夾層)應設置手動報警按鈕和聲光報警裝置。

5、潔凈廠房應設置火災自動報警及消防聯動控制。控制設備的控制及顯示功能應符合現行標準《火災自動報警系統設計規范》GB 50116的有關規定，潔凈室(區)火災報警應進行核實，當確認火災后，在消防控制室應對下列各項進行手動控制：

(1)關閉有關部位的電動防火閥，停止相應的凈化空調系統的送風機、排風機和新風機，并接收其反饋信號;

(2)啟動排煙風機，并接收其反饋信號;

(3)在消防控制室或低壓配電室，手動切斷有關部位的非消防電源。

6、潔凈廠房內下列場所應設置氣體泄漏報警裝置：

(1)易燃、易爆、有毒氣體的儲存分配間(區);

(2)易燃、易爆、有毒氣體的氣瓶柜和分配閥門箱內;

(3)工藝設備的氣體分配箱和排風管內。

7、潔凈廠房內氣體報警裝置的聯動控制，應符合下列規定：

(1)應自動啟動相應的事故排風裝置;

(2)應自動關閉相關部位的進氣閥;

(3)應自動關閉相關部位的電動防火門、防火卷簾門;

(4)報警信號應發送至消防控制室和氣體控制室。應自動啟動泄漏現場的聲光警報裝置和應急廣播。

8、潔凈廠房內易燃、易爆、有毒氣體泄漏報警值應為其爆炸下限值或允許濃度值的20%。

9、潔凈廠房設置的事故應急廣播系統應符合現行標準《火災自動報警系統設計規范》GB 50116的有關規定。潔凈室(區)內應采用不影響空氣潔凈度等級的揚聲器。

10、潔凈廠房內的安全保護系統應設置應急電源。

11、潔凈室(區)火災報警、氣體泄漏報警系統的控制、通訊和警報線路應采用阻燃型電纜，電纜敷設應符合現行標準《火災自動報警系統設計規范》GB 50116的有關規定。

12、潔凈廠房內的各類安全保護系統均應可靠接地，系統接地應符合現行標準《火災自動報警系統設計規范》GB 50116的有關規定。

五、自動控制

1、潔凈廠房的自動控制系統宜采用集散式網絡結構，并應具有穩定、可靠、節能、開放和可擴展性。

2、潔凈廠房應對凈化空調、供熱、供冷、純水和氣體供應等系統進行自動監控。

3、潔凈室(區)內外的壓差監測，宜采用壓差變送器通過控制系統調節潔凈室(區)的送風量或回風量。

4、凈化空調系統采用電加熱器時，電加熱器與風機應聯鎖控制，并應設置無風、超溫斷電保護;當采用電加濕器時，應設置無水、無風斷電保護。

5、在滿足生產工藝要求的前提下，宜對風機、水泵等動力設備采取變頻調速等節能控制措施。

六、接地

1、功能性接地、保護性接地、電磁兼容性接地、建筑防雷接地宜采用共用接地系統。接地電阻值應按其中小值確定，且不應大于1Ω。

2、當電子設備的功能接地要求分開設置時，應設有防止雷電反擊設施。分開設置的接地系統接地極應與共用接地系統接地極保持20m以上的間距。

3、潔凈廠房防雷接地設計應符合現行標準《建筑物防雷設計規范》GB 50057的有關規定。